低温等离子处理的特别性

低温等离子表面处理是一项全新的高新技术，它利用等离子体达到了常规清洗法所不能达到的效果。

等离子体是一种物质状态，也叫第四态。把足够的能量加到气体上，使其离化便变成等离子状态。等离子中的“活性”成分包括：离子、电子、活基、激发态(亚稳态)和光子等。

低温等离子表面处理机就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗等目的。

低温等离子表面处理机是根据工业级用户和研发型用户的需要而设计的一种广泛使用的等离子表面处理设备，适用于等离子清洗、活化、蚀刻等多种应用，设备能在严酷环境下稳定运行，达到高均匀性的使用效果。

低温等离子设备是一种小型、便宜的台式等离子清洗机，配备有铰链门、观察窗和精密控制的计量阀，可用于纳米级表面清洁和小型样品的活化。

低温等离子表面处理机是利用能量转换技术，在一定的真空负压下，把气体通过电能转换成活性极高的气体等离子体，气体等离子体轻柔地洗涤固体样品表面，引起分子结构的变化，从而实现对样品表面有机污染物的超清洗，在很短的时间内，有机污染物被真空泵抽干，其清洗能力可达分子级。样品的表面特征在一定条件下也会发生变化。

等离子清洗机是一种环保机械设备，主要用于电子零件的清洗，以及物体表面的刻蚀、等离子镀膜、等离子涂层、等离子灰化、表面改性等，功能强大。

低温等离子表面处理机以气体为清洗介质，可有效避免由于液体清洗介质对被洗涤物造成的二次污染。

设备外接一台真空泵，工作时清洗腔内的等离子体轻轻轻地冲洗被清洗物的表面，短时间的清洗可使污染物被真空泵抽走，其清洗度可达分子级。

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